1、濕度傳感器的誤差

    敏感元件分散性造成：即元件阻值、容值對濕度響應的離散性;

    信號轉換產生誤差：即阻值、容值轉換為電壓、電流信號時產生;

    溫漂、時漂造成：濕敏元件必需和被測氣體直接接觸，不能象其它電子器件那樣完全密封。故容易被空氣中的酸性、堿性成分及有機溶劑腐蝕、污染，所以濕敏元件難以做到長壽命，需要定期（例如一年）標定。壽命較長，穩定性好的傳感器標定后可繼續使用，達十年以上。

    2、二次儀表中，對信號的處理引入的誤差

    對信號放大、補償、修正后產生的失真;例如有的濕敏元件溫度系數是個變量，常溫下補償后，高溫時仍有誤差。

    整機電路的零點漂移、溫度漂移產生的誤差。

    3、傳感器、變送器在校準，標定時產生的誤差

    標定設備的干燥系統、飽和系統不理想;或者雙壓法、雙溫法設備的壓力、溫度測量控制不準;在分流法設備中因質量流量計不準;在露點法中，因采樣氣時導管漏氣或導管太長而影響溫度都會產生較大的誤差。

    平衡時間不夠或難以達到平衡產生的誤差。敏感元件周圍有發熱體（如功率較大的元器件）也會影響測量結果。

    濕度傳感器在工作室停留位置不同產生的誤差。